AP&S Demo Center -
ein Grundstein in der kundenorientierten
Nassprozessentwicklung des Unternehmens

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Demo Center

F&E

Demo Center

Sind Sie auf der Suche nach einer Nassprozesslösung, die Ihren spezifischen Anforderungen perfekt entspricht? Besuchen Sie unser hauseigenes Applikationslabor in der AP&S-Zentrale in Donaueschingen (Deutschland) und Sie werden fündig.

Eine Investition in eine Nassprozessanlage ist eine wichtige Entscheidung, bei der viele wichtige Aspekte und komplexe Zusammenhänge berücksichtigt werden müssen. AP&S unterstützt Sie effizient bei der Entscheidungsfindung, indem wir Ihnen eine Vielzahl von Anlagendemonstrationen bereitstellen. Wenn Sie unser Nassprozess-Demonstrationscenter besuchen, erhalten Sie alle erforderlichen Informationen für eine fundierte Kaufentscheidung:

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Prozesserfahrung

Im AP&S Demo Center können Sie die für Sie interessanten Nassprozessanwendungen im Live-Betrieb erleben. Unser hochqualifiziertes Team von Verfahrenstechnikern erklärt Ihnen alle Details der Prozess-Anlage und beantwortet gerne Ihre Fragen. Sie erhalten einen umfassenden Testbericht mit vollständigen Parametern des Prozessaufbaus, einer Empfehlung für das Prozessrezept basierend auf den Testergebnissen und alle weiteren wichtigen Details zur Systemkonfiguration.

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Qualitätscheck

Nach der Prozessvorführung kann die Qualität der Nassprozessergebnisse mit unseren Mikroskopgeräten und einer CCD-Kamera überprüft werden.

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Zeit- und Kostenersparnis

Bis zum Produktionsstart bieten wir Ihnen eine hausinterne Prozessevaluierung inkl. der Definition der Prozessparameter, Berechnung des Durchsatzes sowie des Chemikalienverbrauchs.

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HOHE PROZESSEFFIZIENZ UND OPTIMALE AUSBEUTE

Vor der Anlagenauslieferung laden wir Ihre Mitarbeiter gerne zu internen Schulungen in unser Demo Center ein. So können diese direkt nach der Inbetriebnahme der Nassprozessanlage in Ihrer Halbleiterfabrik sofort mit der Arbeit daran beginnen und mit dem neuen Tool von Anfang an optimale Ergebnisse erzielen.

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Vertrauen

Beim Besuch des AP&S Demo Centers lernen Sie unsere Nassprozessanlagen und deren Leistung kennen. Außerdem sehen Sie den Firmensitz einschließlich der Produktionshalle; Erfahren wie wir arbeiten und lernen die Menschen hinter AP&S kennen.

Technische Spezifikationen

Available wet process demonstrations

Single wafer Prozesse

 

Allgemein

✓ voll-automatisierte Doppelkammer-Anlage

✓ Prozessierung von Substraten bis max. 300mm oder 9x9“

✓ Handling von 6” + 8” Substraten mittels Vakuum- oder Edgegripper

✓ Wafermapping

✓ 7 Chemiesysteme, zwei Systeme für max. 70°C Anwendungen

✓ Drainseparierung für beide Prozesskammern

✓ Diverse Chuck-Typen: Vakuumchucks, Low contact chucks, clamp chucks, frontside protection chucks, etc.

✓ Programmierbare Chuckhöhe

 

Prozesskammer 1

✓ Prozesse: Metal Lift-off, PR-Strip, Solvent Processes

✓ MegPie system

✓ High-pressure spray clean for solvent and/or DI-H2O

✓ Different puddle/spray nozzles

✓ Backside-Protection mit DI-H2O oder N2

 

Prozesskammer 2

✓ Prozesse: Metal Etch, various etch processes (dHF max. 0.5%), Maskenreinigung, Substratreinigung

✓ Megasonic nozzle

✓ Wafer coating system (verfügbar ab Q3/2019)

✓ Different puddle/spray nozzless

✓ Backside-Protection mit DI-H2O oder N2

 

ADDITIONAL FEATURES

✓ presoak station

✓ ultrasonic cleaning module

✓ endpoint detection system

Batch Prozesse

 

✓ NID Standalone Dryer für Trocknung von Standard-Substraten, Taiko, MEMS, Dünnwafern, etc.

✓ IPA-Konzentrationsmonitoring

✓ Prozessierung von Substraten bis 300mm oder 9x9“, verschiedene Substratdicken

✓ Batchgröße max. 25 Substrate/Carrier

✓ verschiedene Prozesscarrier möglich (High/Low-Profil, LMC, kundenspezifische Carrier)

"Wir bei AP&S sehen es als unsere Mission an, Kunden effizient bei ihrer Entscheidungsfindung und Kaufabwicklung zu unterstützen. Damit möchten wir sicherstellen, dass sie die perfekte Nassprozesslösung erhalten, die ihren spezifischen Anforderungen entspricht. Deshalb bieten wir ihnen in unserem Demo Center eine Vielzahl von Nassprozessdemonstrationen an.“

Stefan Zürcher, Team Leader Process Engineering & Laboratory

Kontakt

Ihre Anfrage

Wir freuen uns auf Ihren Besuch. Bitte füllen Sie das Kontaktformular aus und unser Prozessingenieur-Team wird Sie bzgl. einer Terminvereinbarung kontaktieren.