CleanStep CB III
Effizientes Reinigungsgerät für alle gängigen Boxen, FOUPs, SMIFs und Carrier von 4“ bis 12“.
AP&S Produkte
Reiniger für Boxen, FOUPs, SMIFs und Carrier
CB III – Leistungsstark und flexibel bei minimalem Platzbedarf
Der CB III bietet zuverlässige Reinigungstechnologie auf nur 3,1 m² Stellfläche und ist ideal für anspruchsvolle Anwendungen im Reinraum. Mit unbegrenzter Rezeptverwaltung, getrennten N₂- und DIW-Düsen sowie einem sensorgesteuerten DI-Heißwassertank (240 l) mit Tauchsiedern sorgt er für stabile Prozesse und konstante Reinigungsergebnisse in jeder Produktionsumgebung.
Hauptvorteile
- Niedrige Verbrauchswerte dank Multi-Box-Reinigung
- Einfache Handhabung dank Plug & Play-Halterungssystem
- Flexibilität durch innovatives Düsenkonzept
- Innovatives, partikelfreies Pumpensystem
- Kleine Stellflächen: CB III 3,1 m²
- Through the Wall-Installation reduziert den Reinraumbedarf
- Hohe Ladekapazität pro Durchlauf
- Mehrere Arbeitsschritte in einer Anlagekombiniert (Reinigen, Trocknen, Ionisieren)
- Zuverlässige und langlebige Tankheizung durch Tauchsieder
- Benutzerfreundlich dank moderner HMI
- Datenauswertung zur Prozessüberwachung
- Ein Bediener kann mehrere Systeme bedienen
- Attraktive TCO-Werte
- Bequeme Wartung dank einfachem Zugang zu den Service-Bereichen
Prozesse
- Reinigen
- Trocknen
- Ionisieren
Substrate
Für alle gängigen Boxen, FOUPs, SMIFs und Carrier von 4“
bis 12“.
Technische Merkmale
- Bis zu 3 Durchläufe pro Stunde
- Trocknung mit gefilterter Heißluft
- Individuell einstellbare Düsen
- Verschiedene Luftfilter zur Auswahl
- Zahlreiche Materialausführungen
- Sicherheitssensor zur Erkennung von Vibration und Unwucht
- Sensorgesteuerte Sicherheitsauffangwanne
- Rostfreies Edelstahl-Karussell
- Kammer-Ionisationsgerät
- Entspricht den Semi-Standards (S2 & S8)
- Stellfläche: 3,1m² (1855 x 1685 x 2860 mm)
- Unbegrenzte Rezepturen
- Zusätzliche N₂-Pistole für manuelle Reinigung
- 12,1“ Touch-Screen
- Sensorgesteuerter DI-Heißwassertank 240l mit Tauchsiedern
- Getrennte N₂- und DIW-Düsen
- Hohe Ladekapazität (pro Durchlauf)
- bis zu 8 x 12“ FOUPs
- bis zu 8 x 8“ SMIFs
- bis zu 8 x 8“ Boxen und Carrier
- bis zu 24 x 8“ Carrier
- bis zu 16 x 4“-6“ Boxen und Carrier
- bis zu 48 x 4“-6“ Carrier
Optionen
- Ein Schwenkarm für 12“-Innenreinigung
- Zweite Prozesskammertür bietet praktische Schleusenfunktion für Grauraum-Reinraum-Trennung
- H₂O₂-Reinigungsfunktion
#Kontakt
AP&S Produkte im Einsatz
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