化学品管理系统
用于半导体、微机电系统、微结构和研发行业的酸、溶剂和蚀刻剂的化学管理系统。
化学品管理系统
AP&S 产品
安全处理化学品。
化学品的分配、混合和处置--有了这套化学品管理系统，您就可以智能、安全、方便地完成这些工作。因此，湿法工艺中的化学品进料和化学品供应都是完美无瑕的。
主要优势
- 最高安全标准
- 可升级系统
- 系统占用空间小
- 与常用交易系统兼容
流程
AP&S 化学品管理系统可用于以下应用：
- 化学品配送系统 (CDS)
- 化学混合系统（CMS）
- 化学废物系统（CWS）
基板
适用于半导体生产中的所有常见应用。
技术特点
- 可随时升级和扩展
- 可与其他通用系统联网
