清洁步进管
清洗半导体制造中不同尺寸的石英管、衬里和舟形容器
清洁步进管
AP&S 产品
垂直和水平版本
一切从最基本的开始,而这些都在我们的掌控之中:有了这一工具,我们就能最大限度地确保工厂的清洁度。配件和设备清洁了,您的产品也就清洁了。我们的清洁系统已在全球知名半导体制造商中使用了 20 多年,其质量令人信服。
主要优势
- 有垂直和水平两种型号
- 模块化结构
- 节省空间
- 现代图形用户界面
- 非常便于维护的系统设计
流程
化学清洗和去离子水冲洗步骤
基板
各种规格的石英管、衬里和艇
技术特点
- 全自动清洗过程
- 适用于高轮廓和低轮廓磁带盒
- 清洁盆下的清洁介质容器、散装物料填充和循环
- 可靠便捷的过程控制,包括配方编辑器