清洁步进管

清洗半导体制造中不同尺寸的石英管、衬里和舟形容器

清洁步进管

AP&S 产品

垂直和水平版本

一切从最基本的开始,而这些都在我们的掌控之中:有了这一工具,我们就能最大限度地确保工厂的清洁度。配件和设备清洁了,您的产品也就清洁了。我们的清洁系统已在全球知名半导体制造商中使用了 20 多年,其质量令人信服。

主要优势

  • 有垂直和水平两种型号
  • 模块化结构
  • 节省空间
  • 现代图形用户界面
  • 非常便于维护的系统设计

流程

化学清洗和去离子水冲洗步骤

基板

各种规格的石英管、衬里和艇

技术特点

  • 全自动清洗过程
  • 适用于高轮廓和低轮廓磁带盒
  • 清洁盆下的清洁介质容器、散装物料填充和循环
  • 可靠便捷的过程控制,包括配方编辑器

#C 联系方式

使用中的 AP&S 产品

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