清洁步骤 CB III

适用于所有标准纸箱、FOUP、SMIF 和 4 英寸至 12 英寸纸箱的高效清洁设备。

产品 »

清洁步骤 CB III

AP&S 产品

用于盒子、FOUP、SMIF 和载体的清洁器

CB III - 功能强大、灵活，所需空间最小

CB III 的占地面积仅为 3.1 平方米，可提供可靠的清洗技术，是要求严格的洁净室应用的理想之选。它具有无限制的配方管理、独立的 N₂ 和 DIW 喷嘴以及带浸入式加热器的传感器控制 DI 热水箱（240 升），可确保在任何生产环境中都能实现稳定的流程和一致的清洗效果。

请使用 饼干 以确保下载安全
联系方式

主要优势

  • 采用多箱清洗，消耗值低
  • 即插即用安装系统，操作简便
  • 创新的喷嘴概念带来灵活性
  • 创新的无颗粒泵系统
  • 占地面积小：CB III 3.1 平方米
  • 穿墙式安装降低了对洁净室的要求
  • 每个循环的装载量大
  • 将多个工作步骤整合在一个系统中（清洁、干燥、电离）
  • 使用浸入式加热器进行可靠耐用的水箱加热
  • 现代化的人机界面方便用户使用
  • 用于过程监控的数据评估
  • 一个操作员可操作多个系统
  • 具有吸引力的总体拥有成本价值
  • 易于进入维修区，方便维护

流程

  • 清洁
  • 干燥
  • 电离

基板

适用于所有普通箱体、FOUP、SMIF 和 4 英寸以上的载体
长达 12 英寸。

技术特点

  • 每小时最多运行 3 次
  • 用过滤热空气干燥
  • 可单独调节的喷嘴
  • 多种空气过滤器可供选择
  • 多种材料版本
  • 用于检测振动和不平衡的安全传感器
  • 传感器控制的安全滴水盘
  • 不锈钢旋转木马
  • 腔室电离装置
  • 符合半标准（S2 和 S8）
  • 占地面积：3.1 平方米（1855 x 1685 x 2860 毫米）
  • 无限食谱
  • 用于手动清洁的附加 N₂ 喷枪
  • 12.1 英寸触摸屏
  • 传感器控制 DI 热水箱 240 升，配有浸入式加热器
  • 独立的 N₂ 和 DIW 喷嘴
  • 高装载能力（每次循环）
    • 最大 8 x 12" FOUPs
    • 最多 8 x 8 英寸 SMIF
    • 最大尺寸为 8 x 8" 的箱子和运输工具
    • 最多 24 x 8" 运输工具
    • 最多 16 x 4"-6" 箱子和运输工具
    • 最多 48 x 4"-6" 运输工具

选项

  • 一个用于 12 英寸内部清洁的旋转臂
  • 第二道工艺室门具有实用的气闸功能，可实现灰室/洁净室分隔
  • H₂O₂ 清洁功能

< 产品筛选器

#C 联系方式

使用中的 AP&S 产品

如果您有任何问题或希望与我们联系，我们期待与您会面。

请使用 饼干 以确保下载安全
联系方式