清洁步骤 CB III

适用于所有常见盒子、FOUP、SMIF 和 4 英寸至 12 英寸载体的高效清洁设备“

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清洁步骤 CB III

AP&S 产品

用于盒子、FOUP、SMIF 和载体的清洁器

CleanStep CB III——紧凑高效，满足最高清洁标准

CB III 的占地面积仅为 3.1 平方米，可提供可靠的清洗技术，是要求严格的洁净室应用的理想之选。它具有无限制的配方管理、独立的 N₂ 和 DIW 喷嘴以及带浸入式加热器的传感器控制 DI 热水箱（240 升），可确保在任何生产环境中都能实现稳定的流程和一致的清洗效果。

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主要优势

  • 多箱清洗技术实现低能耗
  • 即插即用固定系统——无需工具，几秒钟即可更换
    快速更换箱子和托架支架，实现最大灵活性和最小停机时间
  • 创新喷嘴设计实现个性化调整
  • 无颗粒工艺安全性：创新泵系统，满足最高纯度标准
  • 最小占地面积，最大性能：3.1 平方米
  • „穿墙式“安装减少了对洁净室的需求
  • 每个循环的装载量大
  • 可装载不同类型的运输箱
  • 将多个工作步骤整合到一台设备中（清洗、干燥、离子化）
  • 石英玻璃加热棒确保油箱加热器可靠且经久耐用
  • 现代化的人机界面方便用户使用
  • 用于过程监控的数据评估
  • 一个操作员可操作多个系统
  • 具有吸引力的总拥有成本（TCO）：优化设计和耐用的组件
  • 易于进入维修区，方便维护
  • 每小时最多运行 3 次
  • 用过滤热空气干燥
  • 可单独调节的喷嘴
  • 多种空气过滤器可供选择
  • 多种材料（PP 或符合 FM 4910 标准）
  • 用于检测振动和不平衡的安全传感器
  • 传感器控制的安全滴水盘
  • 不锈钢旋转木马
  • 腔室电离装置
  • 符合半标准 S2 和 S8

流程

  • 清洁
  • 干燥
  • 电离

基板

适用于所有普通箱体、FOUP、SMIF 和 4 英寸以上的载体
长达 12 英寸。

技术特点

  • 高装载能力（每次循环）
    – 最多可容纳 8 个 12 英寸 FOUP
    – 最多可容纳 8 x 8 英寸的 SMIF
    – 最多可容纳 8 x 8 英寸的箱子和搬运车
    – 最多 24 x 8 英寸，仅限托盘
    – 最多可容纳 16 个 4 英寸至 6 英寸的箱子和搬运车
    – 最多 48 x 4 英寸至 6 英寸，仅限托盘
  • 占地面积小：
    3.1 平方米（长x宽x高：1855 x 1685 x 2860 毫米）
  • 无限食谱
  • 附加N2-手动清洁用喷枪
  • 12.1 英寸触摸屏
  • 传感器控制的DI热水箱240升，带浸入式加热器
  • 分离的N2– 和 DIW 喷嘴

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选项

  • 通过 SECS/GEM 接口进行主机进程控制
  • 附加DI水过滤器
  • RFID/条形码扫描仪
  • 带计量泵的附加清洁剂罐
  • 一个用于 12 英寸内部清洁的旋转臂
  • 第二道工艺室门具有实用的气闸功能，可实现灰室/洁净室分隔
  • H2O2-清洁功能

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