CleanSurF自动化

全自动盒子清洁器，适用于 8 英寸 SMIF 或 12 英寸 FOUP

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CleanSurF自动化

AP&S 产品

用于 SMIF 和 FOUP 的全自动清洁器

CleanSurF automated——适用于自动化工厂的可扩展高端 SMIF 和 FOUP 清洁设备

CleanSurF automated 是箱子清洁领域的领导者——旨在实现最高效率、无缝工厂集成和毫不妥协的清洁度。其可扩展的机器人架构可实现高吞吐量和灵活配置，完美契合现代自动化工厂的需求。 除了强大的性能外，CleanSurF automated 还具有占地面积小、可轻松集成到 OHT 运输系统中的特点。摄像头监控的机器人技术可确保绝对的流程安全性，而可选功能（如 N2冲洗、电离或抓取器清洁功能可提供额外的安全性和灵活性。CleanSurF automated——面向未来的解决方案，可最高水平地清洁 8 英寸 SMIF 和 12 英寸 FOUP。.

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主要优势

  • 创新喷嘴设计实现个性化调整
  • 无颗粒工艺安全性：创新泵系统，满足最高纯度标准
  • „穿墙式“安装减少了对洁净室的需求
  • 每个循环的装载量大
  • 将多个工作步骤整合到一台设备中（清洗、干燥、离子化）
  • 石英玻璃加热棒确保油箱加热器可靠且经久耐用
  • 现代化的人机界面方便用户使用
  • 用于过程监控的数据评估
  • 具有吸引力的总拥有成本（TCO）：优化设计和耐用的组件
  • 服务区域易于进入，维护方便
  • 每小时最多运行 3 次
  • 用过滤热空气干燥
  • 可单独调节的喷嘴
  • 多种空气过滤器可供选择
  • 多种材料（PP 或符合 FM 4910 标准）
  • 用于检测振动和不平衡的安全传感器
  • 传感器控制的安全滴水盘
  • 不锈钢旋转木马
  • 腔室电离装置
  • 符合半标准 S2 和 S8

流程

  • 清洁
  • 干燥
  • 电离

基板

适用于 8 英寸 SMIF 或 12 英寸 FOUP。.

技术特点

  • 可扩展的吞吐量
    – 最多 12 x 12 英寸 FOUP（每个模块）
    – 最多 12 个 8 英寸 SMIF（每个模块）
    多个并排布置的 CleanSurF 单元，带可调节的 EFEM
  • 占地面积小：6.9 平方米
    （长 x 宽 x 高：1980 x 3480 x 2500 毫米）
  • 与基于 OHT 的运输系统无缝集成
  • 机器人符合ISO 2级标准
  • 通过摄像头控制的机器人单元提高安全性

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选项

  • 通过 SECS/GEM 接口进行主机进程控制
  • 附加DI水过滤器
  • RFID/条形码扫描仪
  • 带计量泵的附加清洁剂罐
  • 附加缓冲站
  • N2-冲洗系统
  • EFEM电离装置
  • 抓斗清洗站

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