AP&S 国际有限公司（AP&S）对超高纯水系统（UHPW）的投资获得了回报。
该系统采用了最先进的理念，不仅带来了纯净水和成本节约，更重要的是带来了技术进步，为客户带来了可观的收益，从而为 AP&S 在国际设备市场上赢得了竞争优势。
自 2017 年初以来，新的超高压水系统已在德国多瑙斯青根的 AP&S 制造工厂投入使用。该系统可将城市自来水残留物中的杂质降低到每种阳离子元素小于 1ppb 的超微量水平。该系统由德国斯图加特的 Hager & Elsässer (H&E) 公司负责安装。H&E 提供工业水处理系统已有 40 多年的历史，是超高压水处理概念领域的技术领导者之一。
做出这一投资决定的主要原因在于半导体行业对湿法工艺应用的稳定性和纯度有很高的要求。在新的湿法工艺应用投入生产之前，它必须满足并证明所要求的纯度规格。在实践中，这意味着在试运行之前，必须在客户的工厂进行长期的漂洗和清洁过程，这需要耗费大量的时间、资源和材料。
AP&S 工艺工程师团队认识到，优化这种工艺设置将为客户带来巨大优势。因此，该项目的基本构想应运而生。2016 年，投资并安装了新的超高压水处理系统。
AP&S 公司工艺工程师 Stefan Zürcher 总结了新水系统的最大优势："新系统的基石是减少耗水量和降低成本，并通过在线分析监控工艺硬件纯度的可计算风险。另外一个新特点是，使用过的水可以在内部循环利用。 超高压水系统的超高压水存储容量为 6-8 立方米，每小时可生产 3 立方米的水。净化水用于 AP&S 工具和设施的冲洗、清洁和调节。"
在向客户交付 AP&S 工具之前，先用超高纯度水进行冲洗，并使用光学粒子计数器（OLC，分辨率 > 0.1 μm）进行检测。用于痕量杂质测量的样品要检查阳离子浓度，通常每个浓度小于 1ppb。在附近的外部实验室使用 ICP-MS 或 GF-AAS。
为每个客户带来的附加值是，工具的合格速度更快，现场工作量更少，更快达到生产产出的缺陷密度要求。
"AP&S 兼职教授 Robert Preisser 表示："新的水系统使 AP&S 能够为客户提供符合 SC 技术最高标准的湿法工艺应用。
"AP&S公司首席执行官亚历山德拉-劳弗-缪勒（Alexandra Laufer-Müller）补充说："通过实施这项先进的水处理技术，AP&S公司已跻身湿法工艺解决方案中型设备供应商的前列，为全球半导体和纳米技术行业提供支持。
图片：在多瑙埃辛根的 AP&S 总部，地区行政办公室和贸易监管部门的代表对新的水处理设备进行检查：（从左到右）黑森林地区办公室环境保护部门的 Ursula K. Schübel、AP&S 公司兼职教授 Robert Preisser、AP&S 公司工艺工程师 Stefan Zürcher、Ortwin Gütwin Güsser。Schübel、AP&S兼职教授Robert Preisser、AP&S工艺工程师Stefan Zürcher、黑森林地区贸易监督办公室的Ortwin Geschke、AP&S生产主管Philipp Scheu、AP&S制造与物流总监Christian Mayer、H+E斯图加特关键市场经理Wolfgang Gebicke。