干进干出 - 带有集成 NID 干燥器的双室湿法工艺工具，占地面积仅为 1.95 平方米，极具竞争力。
我们久经考验的湿式工作台 TwinStep 现在还具有新的 "干进干出功能"。由于其最大紧凑尺寸仅为 1.95 平方米，这种湿法工艺工具只需占用客户洁净室中的最小宝贵空间。
它采用智能设计理念，只需从两侧（正面和背面）进入，并可与邻近的生产模块并排放置，节省空间。
它完美地涵盖了各种蚀刻和清洗工艺，并能产出干燥状态的晶片。与批量喷涂工艺相比，工具自动化和工艺运行对基底和结构最为温和。通过最新软件技术实现的先进工艺控制确保了最高的可重复性。
此外，"干进干出 - TwinStep "的先进装载能力令人信服，可装载 50 x 100-200 毫米晶片或 25 x 300 毫米晶片。
以 HF1 % 工艺为例，进一步的技术规格如下：
工艺室的特点
- 用于温度控制的热交换 +/- 0.1°C（取决于设定值）
- 水箱容积 = 30 - 35L
- 再循环流量： 1 - 48 升/分钟
带 NID 功能的快速倾倒冲洗
- 带溢流功能的面盆
- 快速倾卸气缸
- 浴缸上方的喷淋杆
NID 功能：
- 软件控制浴槽排水
- 伊帕气泡箱
基于模块化结构，我们的 "干进干出双步法 "在未来的工艺调整和工具扩展方面具有很高的灵活性。感兴趣吗？需要更多信息？请将您的请求发送至