小型化学品管理系统
迷你化学品管理系统是专门为 AP&S 单晶片系列开发的配套模块。
小型化学品管理系统
AP&S 产品
紧凑型
微型化学管理系统是专门为 AP&S 单晶片系列开发的配套模块。其紧凑的设计和方便简单的操作尤其令人信服。只需从正面进入即可进行处理和填充,因此该模块可放置在无尘室的墙壁上,以节省空间。
主要优势
AP&S 化学品管理系统可用于以下应用:
- 小型化学品管理系统(MCDS)
- 小型化学混合系统 (MCMS)
- 小型化学废物处理系统(MCWS)
- 小型化学再循环系统 (MCRS)
- 微型化学添加系统(MCSS)
流程
基板
技术特点
- 最高安全标准
- 可升级系统
- 占地面积小
- 与商用系统连接