Mini Chemical Management System

Das Mini Chemikalien-Management-System wurde speziell als Begleitmodul für die AP&S Single-Wafer-Serie entwickelt.

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Mini Chemical Management System

AP&S Produkte

Kompakt

Das Mini Chemikalien-Management-System wurde speziell als Begleitmodul für die AP&S Single-Wafer-Serie entwickelt. Es überzeugt vor allem durch die kompakte Bauweise und die komfortable und einfache Bedienung. Der Zugang zur Handhabung und Befüllung ist nur von der Frontseite erforderlich, so dass das Modul platzsparend an der Wand des Reinraums platziert werden kann.

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Hauptvorteile

Das AP&S-Chemikalienmanagementsystem ist für die folgenden Anwendungen erhältlich:

  • Mini Chemikalien-Management-System (MCDS)
  • Mini-Chemikalien-Mischsystem (MCMS)
  • Mini-Chemikalienabfall-System (MCWS)
  • Mini-Chemikalien-Rückführungssystem (MCRS)
  • Mini-Chemikalien-Zusatzsystem (MCSS)

Prozesse

 

 

 

Substrate

 

 

 

Technische Merkmale

  • Höchster Sicherheitsstandard
  • Aufrüstbares System
  • Kleine Stellfläche
  • Verknüpfung mit handelsüblichen Systemen

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AP&S Produkte im Einsatz

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