Mini Chemical Management System
Das Mini Chemikalien-Management-System wurde speziell als Begleitmodul für die AP&S Single-Wafer-Serie entwickelt.
Mini Chemical Management System
AP&S Produkte
Kompakt
Das Mini Chemikalien-Management-System wurde speziell als Begleitmodul für die AP&S Single-Wafer-Serie entwickelt. Es überzeugt vor allem durch die kompakte Bauweise und die komfortable und einfache Bedienung. Der Zugang zur Handhabung und Befüllung ist nur von der Frontseite erforderlich, so dass das Modul platzsparend an der Wand des Reinraums platziert werden kann.
Hauptvorteile
Das AP&S-Chemikalienmanagementsystem ist für die folgenden Anwendungen erhältlich:
- Mini Chemikalien-Management-System (MCDS)
- Mini-Chemikalien-Mischsystem (MCMS)
- Mini-Chemikalienabfall-System (MCWS)
- Mini-Chemikalien-Rückführungssystem (MCRS)
- Mini-Chemikalien-Zusatzsystem (MCSS)
Prozesse
Substrate
Technische Merkmale
- Höchster Sicherheitsstandard
- Aufrüstbares System
- Kleine Stellfläche
- Verknüpfung mit handelsüblichen Systemen