洁净火山

主要优势

• 采用新开发的喷嘴概念，配备 50 多个喷嘴（DIW 和 N2 喷嘴），实现最佳清洁性能
• 极具吸引力的 TcO 值 - 水和氮的消耗量极低，占地面积仅为 3 平方米，结构极为紧凑。
• 每次运行最多可装载 12 x 12 英寸 FOUP 的高装载量
• 最新的软件技术，包括符合 Semi II 标准的人机界面
• 最大的灵活性 - 针对手动和自动装载进行了优化。
• 实用的气闸功能 - 可在无尘室一侧装料，在灰室一侧进入服务区。可选的第二道工艺室门具有锁定功能，用于隔离洁净室和灰室。

基板

所有常见类型的载体、箱子、SMIF pod 和 FOUPS。