洁净火山

是所有普通纸箱、FOUP、SMIF 和 4 英寸至 12 英寸载体的纯度保证。

洁净火山

AP&S 产品

用于盒子、FOUP、SMIF 和载体的清洁器

CleanSurF - 用于包装箱和运输工具的紧凑型高端清洁设备

CleanSurF 将成熟的 AP&S 清洁技术与先进的功能相结合，实现了最高的工艺可靠性。它的占地面积仅为 3.6 平方米，提供无限制的配方管理、通过机器人单元连接实现的可选自动化以及带浸入式加热器的传感器控制 DI 热水箱（360 升）。独立的 N₂ 和 DIW 喷嘴可确保精确高效的清洗 - CleanSurF 是满足苛刻洁净室工艺要求的强大解决方案。

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联系方式

主要优势

采用多箱清洗，消耗值低
即插即用安装系统，操作简便
创新的喷嘴概念带来灵活性
创新的无颗粒泵系统
占地面积小：CleanSurF 3.6 平方米
穿墙式安装降低了对洁净室的要求
每个循环的装载量大
将多个工作步骤整合在一个系统中（清洁、干燥、电离）
使用浸入式加热器进行可靠耐用的水箱加热
现代化的人机界面方便用户使用
用于过程监控的数据评估
一个操作员可操作多个系统
具有吸引力的总体拥有成本价值
易于进入维修区，方便维护

流程

清洁
干燥
电离

基板

适用于所有普通箱体、FOUP、SMIF 和 4 英寸以上的载体
长达 12 英寸。

技术特点

每小时最多运行 3 次
用过滤热空气干燥
可单独调节的喷嘴
多种空气过滤器可供选择
多种材料（PP 或符合 FM 4910 标准）
用于检测振动和不平衡的安全传感器
传感器控制的安全滴水盘
不锈钢旋转木马
腔室电离装置
符合半标准（S2 和 S8）
占地面积小：3.6 平方米（1980 x 1845 x 2766 毫米）
无限食谱
可与机器人单元连接，实现完全自动化
用于手动清洁的附加 N₂ 喷枪
15.6 英寸触摸屏
传感器控制 DI 热水箱 360 升，带浸入式加热器
独立的 N₂ 和 DIW 喷嘴
高装载能力（每次循环）
- 最多 12 x 12" FOUPs
- 最多 12 x 8 英寸 SMIF
- 最多 12 x 8" 的箱子和运输工具
- 最多 18 x 6" 箱子和运输工具