洁净火山

适用于所有常见盒子、FOUP、SMIF 和 4 英寸至 12 英寸载体的纯净度保证“

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洁净火山

AP&S 产品

用于盒子、FOUP、SMIF 和载体的清洁器

CleanSurF——高吞吐量高端清洁

CleanSurF 结合了 AP&S 久经考验的清洁技术和扩展功能，可实现最高的过程安全性，并达到该产品系列的最高产量。它仅占 3.6 平方米的空间，即可提供无限的配方管理、通过机器人单元连接实现可选的自动化，以及带浸入式加热器的传感器控制 DI 热水箱（360 升）。 独立的 N₂ 和 DIW 喷嘴可确保精确、高效的清洁——CleanSurF 是满足高要求洁净室工艺的强大解决方案。.

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主要优势

  • 多箱清洗技术实现低能耗
  • 即插即用固定系统——无需工具，几秒钟即可更换
    快速更换箱子和托架支架，实现最大灵活性和最小停机时间
  • 创新喷嘴设计实现个性化调整
  • 无颗粒工艺安全性：创新泵系统，满足最高纯度标准
  • 最小占地面积，最大性能：3.6 平方米
  • „穿墙式“安装减少了对洁净室的需求
  • 每个循环的装载量大
  • 可装载不同类型的运输箱
  • 将多个工作步骤整合到一台设备中（清洗、干燥、离子化）
  • 石英玻璃加热棒确保油箱加热器可靠且经久耐用
  • 现代化的人机界面方便用户使用
  • 用于过程监控的数据评估
  • 一个操作员可操作多个系统
  • 具有吸引力的总拥有成本（TCO）：优化设计和耐用的组件
  • 服务区域易于进入，维护方便
  • 每小时最多运行 3 次
  • 用过滤热空气干燥
  • 可单独调节的喷嘴
  • 多种空气过滤器可供选择
  • 多种材料（PP 或符合 FM 4910 标准）
  • 用于检测振动和不平衡的安全传感器
  • 传感器控制的安全滴水盘
  • 不锈钢旋转木马
  • 腔室电离装置
  • 符合半标准 S2 和 S8

流程

  • 清洁
  • 干燥
  • 电离

基板

适用于所有普通箱体、FOUP、SMIF 和 4 英寸以上的载体
长达 12 英寸。

技术特点

  • 高装载能力（每次循环）
    – 最多可容纳 12 x 12 英寸的 FOUP
    – 最多可容纳 12 个 8 英寸 SMIF 卡
    – 最多可容纳 12 个 8 英寸箱子和搬运车
    – 最多 24 x 8 英寸，仅限托盘
    – 最多可容纳 18 个 4 英寸至 6 英寸的箱子和搬运车
    – 最多 48 x 4”-6” 仅限托盘
  • 占地面积小：
    3.6 平方米（长x宽x高：1980 x 1845 x 2500 毫米）
  • 无限食谱
  • 可与机器人单元连接，实现完全自动化
  • 附加N2-手动清洁用喷枪
  • 15.6 英寸触摸屏
  • 传感器控制的 DI 热水箱 360 升，带浸入式加热器
  • 分离的N2– 和 DIW 喷嘴

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选项

  • 通过 SECS/GEM 接口进行主机进程控制
  • 附加DI水过滤器
  • RFID/条形码扫描仪
  • 带计量泵的附加清洁剂罐
  • 两个旋转臂，用于 12 英寸内部清洁
  • 第二道工艺室门具有实用的气闸功能，可实现灰室/洁净室分隔
  • 60升增压罐

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使用中的 AP&S 产品

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