CleanSurF

Der Reinheitsgarant für alle gängigen Trägertypen, Boxen, SMIF-Pods und FOUPs.

Produkte »

CleanSurF

AP&S Produkte

Das neueste AP&S Reinigungstool.

CleanSurF ermöglicht sowohl die manuelle wie auch automatische Beladung und überzeugt durch hohe Ladekapazität. Diese Reinigungsanlage bietet einen effizienten Durchsatz und attraktive TcO Werte.

Bitte akzeptieren Sie alle Cookies um den Download zu nutzen
Kontakt

Hauptvorteile

  • Optimale Reinigungsleistung dank des neuentwickelten Düsenkonzepts mit über 50 Düsen (DIW- sowie N2-Düsen)
  • Attraktive TcO-Werte – sehr niedriger Verbrauch von Wasser und Stickstoff sowie extrem kompakte Stellfläche von 3 m²
  • Hohe Ladekapazität von bis zu 12 x 12 Zoll FOUPs pro Run
  • Neuste Softwaretechnologie inklusive HMI nach Semi II-Standard
  • Maximale Flexibilität – für die manuelle und automatische Beladung optimiert.
  • Praktische Schleusenfunktion – Beladung reinraumseitig und Zugang zum Servicebereich grauraumseitig möglich. Optional ist durch eine zweite Prozesskammertür eine Schleusenfunktion für eine Reinraum-, Grauraum-Trennung möglich.

Prozesse

  • Reinigung und Trocknung

Substrate

Alle gängigen Trägertypen, Boxen, SMIF-Pods und FOUPS.

Technische Merkmale

  • Ausgeklügeltes Boxhaltersystem für den einfachen und schnellen Austausch verschiedener Box- und Carrier-Typen
  • Einfache Handhabung inkl. Laden und Entladen
  • Prozesskontrolle über neueste Softwaretechnologie
  • Geeignet für Inhouse-Tracking-System
  • Optimierte Anlagenstellfläche: CB II 1560 x 1900 x 2510 mm; CB III 1865 x 1685 x 2860 mm

< zu den Produktfiltern

#Kontakt

AP&S Produkte im Einsatz

Wenn Sie Fragen haben oder Kontakt mit uns aufnehmen möchten, freuen wir uns darauf, Sie kennen zu lernen.

Bitte akzeptieren Sie alle Cookies um den Download zu nutzen
Kontakt