CleanSurF
Der Reinheitsgarant für alle gängigen Boxen, FOUPs, SMIFs und Carrier von 4“ bis 12“
AP&S Produkte
Reiniger für Boxen, FOUPs, SMIFs und Carrier
CleanSurF – Hochdurchsatz High-End-Reinigung
Der CleanSurF vereint die bewährte Reinigungstechnologie von AP&S mit erweiterten Funktionen für maximale Prozesssicherheit und den höchsten Durchsatz der Produktfamilie. Mit nur 3,6 m² Stellfläche bietet er unbegrenzte Rezeptverwaltung, optionale Automatisierung über eine Roboterzellenanbindung sowie einen sensorgesteuerten DI-Heißwassertank (360 l) mit Tauchsiedern. Getrennte N₂- und DIW-Düsen sorgen für präzise und effiziente Reinigung – CleanSurF ist die leistungsstarke Lösung für anspruchsvolle Reinraumprozesse.
Hauptvorteile
- Niedrige Verbrauchswerte durch Multi-Box-Reinigung
- Plug & Play Fixture System – werkzeugfreier Wechsel in Sekunden
Schneller Austausch von Boxen- und Carrierhalterungen für maximale Flexibilität und minimale Stillstandszeiten - Individuelle Anpassungen durch innovatives Düsenkonzept
- Partikelfreie Prozesssicherheit: Innovatives Pumpensystem für höchste Reinheitsstandards
- Minimale Stellflächen bei maximaler Leistung: 3,6 m²
- „Through-the-Wall“-Installation reduziert den Reinraumbedarf
- Hohe Ladekapazität pro Durchlauf
- Beladung mit unterschiedlichen Transportboxen möglich
- Mehrere Arbeitsschritte in einer Anlage kombiniert (Reinigen, Trocknen, Ionisieren)
- Zuverlässige und langlebige Tankheizung dank Quarzglas-Heizstäben
- Benutzerfreundlich dank moderner HMI
- Datenauswertung zur Prozessüberwachung
- Ein Bediener kann mehrere Systeme bedienen
- Attraktive Gesamtbetriebskosten (TCO): Optimiertes Design und langlebige Komponenten
- Bequeme Wartung dank einfachem Zugang zu den Service-Bereichen
- Bis zu 3 Durchläufe pro Stunde
- Trocknung mit gefilterter Heißluft
- Individuell einstellbare Düsen
- Verschiedene Luftfilter zur Auswahl
- Zahlreiche Materialausführungen (PP oder nach FM 4910)
- Sicherheitssensor zur Erkennung von Vibration und Unwucht
- Sensorgesteuerte Sicherheitsauffangwanne
- Rostfreies Edelstahl-Karussell
- Kammer-Ionisationsgerät
- Entspricht den Semi-Standards S2 & S8
Prozesse
- Reinigen
- Trocknen
- Ionisieren
Substrate
Für alle gängigen Boxen, FOUPs, SMIFs und Carrier von 4“
bis 12“.
Technische Merkmale
- Hohe Ladekapazität (pro Durchlauf)
– bis zu 12 x 12” FOUPs
– bis zu 12 x 8” SMIFs
– bis zu 12 x 8” Boxen und Carrier
– bis zu 24 x 8” nur Carrier
– bis zu 18 x 4”-6” Boxen und Carrier
– bis zu 48 x 4”-6” nur Carrier
- Kleine Stellfläche:
3,6 m² (LxBxH:1980 x 1845 x 2500 mm) - Unbegrenzte Rezepturen
- Vollständige Automatisierung dank möglichem Anschluss an Roboterzelle
- Zusätzliche N2-Pistole für manuelle Reinigung
- 15,6“ Touch-Screen
- Sensorgesteuerter DI-Heißwassertank 360 l mit Tauchsiedern
- Getrennte N2– und DIW-Düsen
Optionen
- Host-Prozesssteuerung über SECS/GEM-Schnittstelle
- Zusätzlicher DI-Wasser-Filter
- RFID-/Barcode-Scanner
- Zusätzlicher Reinigungsmittel-Tank mit Dosierpumpe
- Zwei Schwenkarme für 12“-Innenreinigung
- Zweite Prozesskammertür bietet praktische Schleusenfunktion für Grauraum-Reinraum-Trennung
- Booster-Tank 60 l
#Kontakt
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