CleanSurF

Der Reinheitsgarant für alle gängigen Trägertypen, Boxen, SMIF-Pods und FOUPs.

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CleanSurF

AP&S Produkte

Das neueste AP&S Reinigungstool.

CleanSurF ermöglicht sowohl die manuelle wie auch automatische Beladung und überzeugt durch hohe Ladekapazität. Diese Reinigungsanlage bietet einen effizienten Durchsatz und attraktive TcO Werte.

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Hauptvorteile

  • Optimale Reinigungsleistung dank des neuentwickelten Düsenkonzepts mit über 50 Düsen (DIW- sowie N2-Düsen)
  • Attraktive TcO-Werte – sehr niedriger Verbrauch von Wasser und Stickstoff sowie extrem kompakte Stellfläche von 3 m²
  • Hohe Ladekapazität von bis zu 12 x 12 Zoll FOUPs pro Run
  • Neuste Softwaretechnologie inklusive HMI nach Semi II-Standard
  • Maximale Flexibilität – für die manuelle und automatische Beladung optimiert.
  • Praktische Schleusenfunktion – Beladung reinraumseitig und Zugang zum Servicebereich grauraumseitig möglich. Optional ist durch eine zweite Prozesskammertür eine Schleusenfunktion für eine Reinraum-, Grauraum-Trennung möglich.

Prozesse

  • Reinigung und Trocknung

Substrate

Alle gängigen Trägertypen, Boxen, SMIF-Pods und FOUPS.

Technische Merkmale

  • Ausgeklügeltes Boxhaltersystem für den einfachen und schnellen Austausch verschiedener Box- und Carrier-Typen
  • Einfache Handhabung inkl. Laden und Entladen
  • Prozesskontrolle über neueste Softwaretechnologie
  • Geeignet für Inhouse-Tracking-System
  • Optimierte Anlagenstellfläche: CB II 1560 x 1900 x 2510 mm; CB III 1865 x 1685 x 2860 mm

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