CleanSurF
Der Reinheitsgarant für alle gängigen Boxen, FOUPs, SMIFs und Carrier von 4“ bis 12“.
AP&S Produkte
Reiniger für Boxen, FOUPs, SMIFs und Carrier
CleanSurF – Kompakte High-End-Reinigung für Boxen und Carrier
Der CleanSurF vereint die bewährte Reinigungstechnologie von AP&S mit erweiterten Funktionen für maximale Prozesssicherheit. Mit nur 3,6 m² Stellfläche bietet er unbegrenzte Rezeptverwaltung, optionale Automatisierung über eine Roboterzellenanbindung sowie einen sensorgesteuerten DI-Heißwassertank (360 l) mit Tauchsiedern. Getrennte N₂- und DIW-Düsen sorgen für präzise und effiziente Reinigung – CleanSurF ist die leistungsstarke Lösung für anspruchsvolle Reinraumprozesse.
Hauptvorteile
- Niedrige Verbrauchswerte dank Multi-Box-Reinigung
- Einfache Handhabung dank Plug & Play-Halterungssystem
- Flexibilität durch innovatives Düsenkonzept
- Innovatives, partikelfreies Pumpensystem
- Kleine Stellfläche: CleanSurF 3,6 m²
- Through the Wall-Installation reduziert den Reinraumbedarf
- Hohe Ladekapazität pro Durchlauf
- Mehrere Arbeitsschritte in einer Anlagekombiniert (Reinigen, Trocknen, Ionisieren)
- Zuverlässige und langlebige Tankheizung durch Tauchsieder
- Benutzerfreundlich dank moderner HMI
- Datenauswertung zur Prozessüberwachung
- Ein Bediener kann mehrere Systeme bedienen
- Attraktive TCO-Werte
- Bequeme Wartung dank einfachem Zugang zu den Service-Bereichen
Prozesse
- Reinigen
- Trocknen
- Ionisieren
Substrate
Für alle gängigen Boxen, FOUPs, SMIFs und Carrier von 4“
bis 12“.
Technische Merkmale
- Bis zu 3 Durchläufe pro Stunde
- Trocknung mit gefilterter Heißluft
- Individuell einstellbare Düsen
- Verschiedene Luftfilter zur Auswahl
- Zahlreiche Materialausführungen (PP oder nach FM 4910)
- Sicherheitssensor zur Erkennung von Vibration und Unwucht
- Sensorgesteuerte Sicherheitsauffangwanne
- Rostfreies Edelstahl-Karussell
- Kammer-Ionisationsgerät
- Entspricht den Semi-Standards (S2 & S8)
- Kleine Stellfläche: 3,6 m² (1980 x 1845 x 2766 mm)
- Unbegrenzte Rezepturen
- Vollständige Automatisierung dank möglichem Anschluss an Roboterzelle
- Zusätzliche N₂-Pistole für manuelle Reinigung
- 15,6“ Touch-Screen
- Sensorgesteuerter DI-Heißwassertank 360l mit Tauchsiedern
- Getrennte N₂- und DIW-Düsen
- Hohe Ladekapazität (pro Durchlauf)
- bis zu 12 x 12“ FOUPs
- bis zu 12 x 8“ SMIFs
- bis zu 12 x 8“ Boxen und Carrier
- bis zu 18 x 6“ Boxen und Carrier
Optionen
- Zwei Schwenkarme für 12“-Innenreinigung
- Zweite Prozesskammertür bietet praktische Schleusenfunktion für Grauraum-Reinraum-Trennung
- Booster-Tank 60l
#Kontakt
AP&S Produkte im Einsatz
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