CleanSurF

Der Reinheitsgarant für alle gängigen Boxen, FOUPs, SMIFs und Carrier von 4“ bis 12“.

CleanSurF

AP&S Produkte

Reiniger für Boxen, FOUPs, SMIFs und Carrier

CleanSurF – Kompakte High-End-Reinigung für Boxen und Carrier

Der CleanSurF vereint die bewährte Reinigungstechnologie von AP&S mit erweiterten Funktionen für maximale Prozesssicherheit. Mit nur 3,6 m² Stellfläche bietet er unbegrenzte Rezeptverwaltung, optionale Automatisierung über eine Roboterzellenanbindung sowie einen sensorgesteuerten DI-Heißwassertank (360 l) mit Tauchsiedern. Getrennte N₂- und DIW-Düsen sorgen für präzise und effiziente Reinigung – CleanSurF ist die leistungsstarke Lösung für anspruchsvolle Reinraumprozesse.

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Hauptvorteile

  • Niedrige Verbrauchswerte dank Multi-Box-Reinigung
  • Einfache Handhabung dank Plug & Play-Halterungssystem
  • Flexibilität durch innovatives Düsenkonzept
  • Innovatives, partikelfreies Pumpensystem
  • Kleine Stellfläche: CleanSurF 3,6 m²
  • Through the Wall-Installation reduziert den Reinraumbedarf
  • Hohe Ladekapazität pro Durchlauf
  • Mehrere Arbeitsschritte in einer Anlagekombiniert (Reinigen, Trocknen, Ionisieren)
  • Zuverlässige und langlebige Tankheizung durch Tauchsieder
  • Benutzerfreundlich dank moderner HMI
  • Datenauswertung zur Prozessüberwachung
  • Ein Bediener kann mehrere Systeme bedienen
  • Attraktive TCO-Werte
  • Bequeme Wartung dank einfachem Zugang zu den Service-Bereichen

Prozesse

  • Reinigen
  • Trocknen
  • Ionisieren

Substrate

Für alle gängigen Boxen, FOUPs, SMIFs und Carrier von 4“
bis 12“.

Technische Merkmale

  • Bis zu 3 Durchläufe pro Stunde
  • Trocknung mit gefilterter Heißluft
  • Individuell einstellbare Düsen
  • Verschiedene Luftfilter zur Auswahl
  • Zahlreiche Materialausführungen (PP oder nach FM 4910)
  • Sicherheitssensor zur Erkennung von Vibration und Unwucht
  • Sensorgesteuerte Sicherheitsauffangwanne
  • Rostfreies Edelstahl-Karussell
  • Kammer-Ionisationsgerät
  • Entspricht den Semi-Standards (S2 & S8)
  • Kleine Stellfläche: 3,6 m² (1980 x 1845 x 2766 mm)
  • Unbegrenzte Rezepturen
  • Vollständige Automatisierung dank möglichem Anschluss an Roboterzelle
  • Zusätzliche N₂-Pistole für manuelle Reinigung
  • 15,6“ Touch-Screen
  • Sensorgesteuerter DI-Heißwassertank 360l mit Tauchsiedern
  • Getrennte N₂- und DIW-Düsen
  • Hohe Ladekapazität (pro Durchlauf)
    • bis zu 12 x 12“ FOUPs
    • bis zu 12 x 8“ SMIFs
    • bis zu 12 x 8“ Boxen und Carrier
    • bis zu 18 x 6“ Boxen und Carrier

Optionen

  • Zwei Schwenkarme für 12“-Innenreinigung
  • Zweite Prozesskammertür bietet praktische Schleusenfunktion für Grauraum-Reinraum-Trennung
  • Booster-Tank 60l

#Kontakt

AP&S Produkte im Einsatz

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