清洁步骤 CB II 和 CB III

适用于所有常见载体类型、纸箱、SMIF pod 和 FOUP 的高效清洁系统

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清洁步骤 CB II 和 CB III

AP&S 产品

箱体和载体清洁剂

AP&S 的箱体和载体清洗机 CleanStep CBII 和 CBIII 在装卸过程中操作简便，能达到最佳清洗效果，给人留下深刻印象。

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主要优势

  • CleanStep Carrier Box 集多个工作步骤于一体
  • 每小时最多运行 3 次
  • 由于工具可从两侧（背面和正面）进入，因此可在无尘室和灰房之间进行安装。

流程

  • 清洁和干燥

基板

所有常用包装箱和载体

技术特点

  • 先进的纸箱支架系统可方便快捷地更换不同类型的纸箱和载体
  • 装卸方便
  • 通过最新软件技术进行过程控制
  • 适用于内部跟踪系统
  • 优化的系统占地面积：CB II 1560 x 1900 x 2510 毫米；CB III 1865 x 1685 x 2860 毫米
  • Cleanstep II 装载能力：8 个载体和 8 个箱子
  • Cleanstep III 装载能力：8 个 SMIF 和 8 扇门 + 8 个运载工具；8 个 FOUP 和 8 扇门

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