CleanStep CB II und CB III
Effiziente Reinigungsanlagen für alle gängigen Trägertypen, Boxen, SMIF-Pods und FOUPs
CleanStep CB II und CB III
AP&S Produkte
Boxen- und Carrier-Reiniger
Die AP&S Boxen- und Carrier-Reiniger CleanStep CBII und CBIII überzeugen durch ihre einfache Handhabung beim Be- und Entladen und erzielen optimale Reinigungsergebnisse.
Hauptvorteile
- Die CleanStep Carrier Box kombiniert mehrere Arbeitsschritte in einem Tool
- Bis zu 3 Läufe pro Stunde
- Das Aufstellen zwischen Reinraum und Grauraum ist möglich, da das Werkzeug von zwei Seiten (hinten und vorne) zugänglich ist.
Prozesse
- Reinigung und Trocknung
Substrate
Alle gängigen Boxen und Carrier
Technische Merkmale
- Ausgeklügeltes Boxhaltersystem für den einfachen und schnellen Austausch verschiedener Box- und Carriertypen
- Einfache Handhabung inkl. laden und entladen
- Prozesskontrolle über neueste Softwaretechnologie
- Geeignet für Inhouse-Tracking-System
- Optimierte Anlagenstellfläche: CB II 1560 x 1900 x 2510 mm; CB III 1865 x 1685 x 2860 mm
- Cleanstep II Ladekapazität: 8 Carrier und 8 Boxen
- Cleanstep III Ladekapazität: 8 SMIFs und 8 Türen + 8 Carrier; 8 FOUP´s und 8 Türen