CleanStep CB II und CB III

Effiziente Reinigungsanlagen für alle gängigen Trägertypen, Boxen, SMIF-Pods und FOUPs

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CleanStep CB II und CB III

AP&S Produkte

Boxen- und Carrier-Reiniger

Die AP&S Boxen- und Carrier-Reiniger CleanStep CBII und CBIII überzeugen durch ihre einfache Handhabung beim Be- und Entladen und erzielen optimale Reinigungsergebnisse.

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Hauptvorteile

  • Die CleanStep Carrier Box kombiniert mehrere Arbeitsschritte in einem Tool
  • Bis zu 3 Läufe pro Stunde
  • Das Aufstellen zwischen Reinraum und Grauraum ist möglich, da das Werkzeug von zwei Seiten (hinten und vorne) zugänglich ist.

Prozesse

  • Reinigung und Trocknung

Substrate

Alle gängigen Boxen und Carrier

Technische Merkmale

  • Ausgeklügeltes Boxhaltersystem für den einfachen und schnellen Austausch verschiedener Box- und Carriertypen
  • Einfache Handhabung inkl. laden und entladen
  • Prozesskontrolle über neueste Softwaretechnologie
  • Geeignet für Inhouse-Tracking-System
  • Optimierte Anlagenstellfläche: CB II 1560 x 1900 x 2510 mm; CB III 1865 x 1685 x 2860 mm
  • Cleanstep II Ladekapazität: 8 Carrier und 8 Boxen
  • Cleanstep III Ladekapazität: 8 SMIFs und 8 Türen + 8 Carrier; 8 FOUP´s und 8 Türen

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