喷雾清洁器
SprayCleaner 专用于蚀刻和清洁 PECVD 和扩散舟，如石墨舟、石英部件和碳化硅舟。
喷雾清洁器
AP&S 产品
PECVD 和扩散舟的清洁和蚀刻。
AP&S SprayCleaner 是蚀刻或清洁 PECVD 和扩散舟的完美工具。创新的喷淋清洗技术以较低的化学品消耗实现了工艺时间的优化。
主要优势
该设备采用创新的喷淋清洗技术，与浸泡工艺相比，可优化工艺时间，同时减少化学品消耗。
流程
蚀刻和清洁
基板
PECVD 和扩散舟
技术特点
- 由于所需空间极小，去离子水消耗量较低，仅为浸入式工艺的一半，因此优化了氧化钴工艺
- 由于化学品消耗量低，每艘船的清洗成本比浸泡工艺低十倍，因此可将清洗成本降至最低
- 只有在腔室关闭时，设备才会工作，因此对操作员而言安全性最高。装料和卸料只能在工艺室完全冲洗后进行。此外，还安装了故障安全门联锁装置
- 通过过量加注保护和废气监测实现最高的工艺可靠性
- 采用模块化设计和耐用部件，可用性高、速度快、维护成本低
