SprayCleaner

Der SprayCleaner ist zum Ätzen und Reinigen von PECVD- und Diffusionsbooten wie Graphit-Booten, Quarzteilen und Siliciumcarbid-Booten bestimmt.

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SprayCleaner

AP&S Produkte

Reinigung und Ätzung von PECVD- und Diffusionsbooten.

Um PECVD- und Diffusionsboote zu ätzen oder zu reinigen, ist der AP&S SprayCleaner das perfekte Tool. Die innovative Sprühreinigungstechnik erzielt optimierte Prozesszeiten bei geringerem Chemikalienverbrauch.

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Hauptvorteile

Diese Anlage arbeitet mit einer innovativen Sprühreinigungstechnik, die eine optimierte Prozesszeit erzielt und gleichzeitig einen geringeren Chemikalienverbrauch im Vergleich zu einem Eintauchprozess erfordert.

Prozesse

Ätzen und Reinigen

Substrate

PECVD- und Diffusionsboote

Technische Merkmale

  • Optimierung des CoO aufgrund des sehr geringen Platzbedarfs und des geringeren DI-Wasserverbrauchs, der im Vergleich zu einem Eintauchvorgang halb so hoch ist
  • Minimierte Reinigungskosten pro Boot durch geringen Chemikalienverbrauch, der im Vergleich zu einem Eintauchvorgang zehnmal niedriger ist
  • Höchste Sicherheit für den Bediener, da die Anlage nur bei geschlossener Kammer arbeitet. Das Be- und Entladen erfolgt erst nach vollständiger Spülung der Prozesskammer. Weiterhin ist eine ausfallsichere Türverriegelung installiert
  • Höchste Prozesssicherheit durch Überfüllsicherung und Abgasüberwachung
  • Hohe und schnelle Verfügbarkeit und geringer Wartungsaufwand durch modularen Aufbau und langlebige Komponenten

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