CleanSurF® – der neue AP&S Cleaner sorgt für maximale Reinheit gemäß höchster Reinheitsanforderungen, um die Prozessketten in der Halbleiterfertigung zu sichern und maximale Produktivität sicherzustellen.
Dabei überzeugt der CleanSurF® mit einer Ladekapazität von bis zu 12 x 12 Zoll FOUPs pro Run bei optimierter Rezeptzeit. In Kombination mit einer kompakten Stellfläche von ca. 3 m² und einem sehr niedrigen Verbrauch von Wasser und Stickstoff bietet der CleanSurF® darüber hinaus extrem attraktive TCO-Werte.
Das CleanSurF®-Konzept ist sowohl für manuelle wie auch automatische Beladung ausgelegt. Zwei neuentwickelte Komponenten tragen entscheidend zur optimalen Partikel- und AMC-(airborne molecular contamination)-Reinigungsleistung sowie zu kürzeren Prozesszeiten bei:
- Ein innovatives Düsenkonzept ermöglicht eine flexible, 360 Grad-umfassende und getrennt steuerbare Handhabung der Düsen. Im Tool sind über 50 Düsen (DIW- sowie N2-Düsen) verbaut, diese sorgen für ein optimales Reinigungsergebnis.
- Ein neues Karussell-Design bestehend aus Antriebstechnik, robusten Drehrahmen und flexiblen Equipment-Halterungen verfügt über neue Verriegelungen mit zusätzlichen Sicherheitsfunktionen. Beim manuellen Beladen ist der Drehrahmen fest verankert und ermöglicht so eine bequeme und vor allem schnelle Beladung.
Neuste Softwaretechnologie inklusive HMI garantieren höchste Prozesssicherheit. Übersichtliches Monitoring inkl. schematischer Darstellung der Prozesskammer, Prozesswerte und aktiver Sprühelemente sowie einfache Rezeptverwaltung und vielfältige Exportfunktionen sorgen für eine komfortable und einfache Systemhandhabung.
Die autarke Prozesskammer überzeugt mit einem sehr breiten Beladefenster. Der klare Aufbau sorgt für maximale Sicherheit sowie einfache Montage und Instandhaltung. Durch die Beladung reinraumseitig und den Zugang zum Servicebereich grauraumseitig, kann wertvolle Reinraumfläche eingespart werden. Optional ist durch eine zweite Prozesskammertür eine Schleusenfunktion für eine Reinraum-, Grauraum-Trennung möglich.
Der CleanSurF® ergänzt die AP&S Cleaner-Serie, die bisher aus den Produkten CB II und CB III bestand. „Bei der Produktentwicklung waren für uns folgende Überlegungen entscheidend: Wir wollten einen Cleaner nach neustem technischen Standard entwickeln, welcher sowohl die manuelle wie auch automatische Beladung ermöglicht und die Kapazität unserer bisherigen Cleaner erhöht. Unser Ziel – eine Anlage mit effizientem Durchsatz und attraktiven TCO zu realisieren, haben wir mit unserem neuen CleanSurF® erreicht“, erklärt Tobias Bausch, CMO & CTO bei AP&S.
Für weitere Produktdetails kontaktieren Sie bitte unser Vertriebsteam oder besuchen Sie unsere CleanSurF-Impressionen Seite.