Chemikalien-Management System
Das Chemikalien-Management-System für Säuren, Lösungsmittel und Ätzmittel, die in der Halbleiter-, MEMS- und Mikrostrukturierungsindustrie sowie im F&E-Sektor eingesetzt werden.
Chemikalien-Management System
AP&S Produkte
Sicherer Umgang mit Chemikalien.
Verteilen, Mischen und Entsorgen von Chemikalien – das können Sie smart, sicher und bequem mit diesem Chemikalienmanagement-System. Chemiezuführung und Chemieversorgung für Ihre Nassprozesse gelingen damit einwandfrei.
Hauptvorteile
- Höchster Sicherheitsstandard
- Aufrüstbares System
- Kleine Anlagenstellfläche
- Kompatibilität mit gängigen Handelssystemen
Prozesse
Das Chemikalienmanagementsystem von AP&S ist für folgende Anwendungen verfügbar:
- Chemiedistributionssystem (CDS)
- Chemisches Mischsystem (CMS)
- Chemisches Abfallsystem (CWS)
Substrate
Für alle gängigen Anwendungen in der Halbleiterproduktion geeignet.
Technische Merkmale
- Upgrades und Erweiterungen jederzeit möglich
- Vernetzung mit anderen gängigen Systemen möglich