CleanStep CB II
Effizientes Reinigungsgerät für alle gängigen Boxen und Carrier von 4“ bis 8“
CleanStep CB II
AP&S Produkte
Reiniger für Boxen, FOUPs, SMIFs und Carrier
CleanStep CB II – Leistungsstark und flexibel bei minimalem Platzbedarf
Als kleinstes Modell der AP&S Produktfamilie überzeugt der CBII mit einer Stellfläche von nur 2,8 m² und hoher Funktionalität. Ein sensorgesteuerter 170 l DI-Heißwassertank mit Tauchsiedern sorgt für gleichbleibend hohe Reinigungsqualität – die ideale Lösung für Anlagen mit begrenztem Platzangebot und hohen Reinheitsanforderungen.
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Hauptvorteile
- Niedrige Verbrauchswerte durch Multi-Box-Reinigung
- Plug & Play Fixture System – werkzeugfreier Wechsel in Sekunden
Schneller Austausch von Boxen- und Carrierhalterungen für maximale Flexibilität und minimale Stillstandszeiten - Individuelle Anpassungen durch innovatives Düsenkonzept
- Partikelfreie Prozesssicherheit: Innovatives Pumpensystem für höchste Reinheitsstandards
- Minimale Stellflächen bei maximaler Leistung: 2,8 m²
- „Through-the-Wall“-Installation reduziert den Reinraumbedarf
- Hohe Ladekapazität pro Durchlauf
- Beladung mit unterschiedlichen Transportboxen möglich
- Mehrere Arbeitsschritte in einer Anlage kombiniert (Reinigen, Trocknen, Ionisieren)
- Zuverlässige und langlebige Tankheizung dank Quarzglas-Heizstäben
- Benutzerfreundlich dank moderner HMI
- Datenauswertung zur Prozessüberwachung
- Ein Bediener kann mehrere Systeme bedienen
- Attraktive Gesamtbetriebskosten (TCO): Optimiertes Design und langlebige Komponenten
- Bequeme Wartung dank einfachem Zugang zu den Service-Bereichen
- Bis zu 3 Durchläufe pro Stunde
- Trocknung mit gefilterter Heißluft
- Individuell einstellbare Düsen
- Verschiedene Luftfilter zur Auswahl
- Zahlreiche Materialausführungen (PP oder nach FM 4910)
- Sicherheitssensor zur Erkennung von Vibration und Unwucht
- Sensorgesteuerte Sicherheitsauffangwanne
- Rostfreies Edelstahl-Karussell
- Kammer-Ionisationsgerät
- Entspricht den Semi-Standards S2 & S8
Prozesse
- Reinigen
- Trocknen
- Ionisieren
Substrate
Effizientes Reinigungsgerät für alle gängigen Boxen und Carrier von 4“ bis 8“.
Technische Merkmale
- Hohe Ladekapazität (pro Durchlauf)
– bis zu 8 x 8” Boxen und Carrier
– bis zu 24 x 8” nur Carrier
– bis zu 8 x 4”-6” Boxen und Carrier
– bis zu 24 x 4”-6” nur Carrier
- Kleinste Stellfläche der Produktfamilie:
2,8 m² (LxBxH: 1560 x 1813 x 2480 mm) - Zusätzliche N2– und DIW-Pistole für manuelle Reinigung
- 10,4″ Touch-Screen
- Sensorgesteuerter DI-Heißwassertank 170 l mit Tauchsiedern
Optionen
- Host-Prozesssteuerung über SECS/GEM-Schnittstelle
- Zusätzlicher DI-Wasser-Filter
- RFID-/Barcode-Scanner
- Zusätzlicher Reinigungsmittel-Tank mit Dosierpumpe





