CleanStep Tube

Reinigung von Quarzrohren, Linern und Booten unterschiedlicher Größen in der Halbleiterfertigung

Produkte »

CleanStep Tube

AP&S Produkte

Vertikale und horizontale Ausführung

Bei den Basics fängt es an und diese haben wir bestens im Griff: Mit diesem Tool sorgen wir für maximale Sauberkeit in Ihrer Fab. Ist das Zubehör und Equipment sauber, sind es auch Ihre Produkte. Unsere Reinigungsanlagen sind seit über 20 Jahren im Einsatz bei namhaften Halbleiterherstellern weltweit und überzeugen durch ihre Qualität.

Kontakt

Hauptvorteile

  • In vertikaler und horizontaler Ausführung erhältlich
  • Modularer Aufbau
  • Platzsparende Grundfläche
  • Moderne grafische Benutzeroberfläche
  • Sehr wartungsfreundlicher Anlagenaufbau

Prozesse

Reinigungsschritte mit Chemie und Spülung mit DIW

Substrate

Quarzröhren in verschiedenen Größen, Liner und Boote

Technische Merkmale

  • Vollautomatischer Reinigungsprozess
  • Sowohl für Kassetten mit hohem als auch niedrigem Profil geeignet
  • Behälter für Reinigungsmedien unter dem Reinigungsbecken, Schüttgutfüllung und Umwälzung
  • Zuverlässige und komfortable Prozesssteuerung inklusive Rezepteditor

< zu den Produktfiltern

#Kontakt

AP&S Produkte im Einsatz

Wenn Sie Fragen haben oder Kontakt mit uns aufnehmen möchten, freuen wir uns darauf, Sie kennen zu lernen.

Kontakt