CleanSurF automated
Der vollautomatisierte Boxenreiniger für 8″ SMIFs oder 12“ FOUPs
AP&S Produkte
Vollautomatisierter Reiniger für SMIFs und FOUPs
CleanSurF automated – Skalierbare High-End-SMIF- und FOUP-Reinigung für automatisierte Fabriken
Der CleanSurF automated ist führend in der Boxenreinigung – entwickelt für maximale Effizienz, nahtlose Fabrikintegration und kompromisslose Sauberkeit. Seine skalierbare, roboterbasierte Architektur ermöglicht einen hohen Durchsatz und flexible Konfigurationen, die perfekt auf die Anforderungen moderner automatisierter Fabriken zugeschnitten sind. Neben seiner leistungsstarken Performance überzeugt der CleanSurF automated durch einen bemerkenswert geringen Platzbedarf und eine reibungslose Integration in OHT-basierte Transportsysteme. Kameraüberwachte Robotik sorgt für absolute Prozesssicherheit, während optionale Funktionen wie N2-Spülung, Ionisierung oder Greiferreinigung zusätzliche Sicherheit und Flexibilität bieten. CleanSurF automated – die zukunftssichere Lösung für die Reinigung von 8″ SMIFs und 12″ FOUPs auf höchstem Niveau.
Hauptvorteile
- Individuelle Anpassungen durch innovatives Düsenkonzept
- Partikelfreie Prozesssicherheit: Innovatives Pumpensystem für höchste Reinheitsstandards
- „Through-the-Wall“-Installation reduziert den Reinraumbedarf
- Hohe Ladekapazität pro Durchlauf
- Mehrere Arbeitsschritte in einer Anlage kombiniert (Reinigen, Trocknen, Ionisieren)
- Zuverlässige und langlebige Tankheizung dank Quarzglas-Heizstäben
- Benutzerfreundlich dank moderner HMI
- Datenauswertung zur Prozessüberwachung
- Attraktive Gesamtbetriebskosten (TCO): Optimiertes Design und langlebige Komponenten
- Bequeme Wartung dank einfachem Zugang zu den Service-Bereichen
- Bis zu 3 Durchläufe pro Stunde
- Trocknung mit gefilterter Heißluft
- Individuell einstellbare Düsen
- Verschiedene Luftfilter zur Auswahl
- Zahlreiche Materialausführungen (PP oder nach FM 4910)
- Sicherheitssensor zur Erkennung von Vibration und Unwucht
- Sensorgesteuerte Sicherheitsauffangwanne
- Rostfreies Edelstahl-Karussell
- Kammer-Ionisationsgerät
- Entspricht den Semi-Standards S2 & S8
Prozesse
- Reinigen
- Trocknen
- Ionisieren
Substrate
Für 8″ SMIFs oder 12“ FOUPs.
Technische Merkmale
- Skalierbarer Durchsatz
– bis zu 12 x 12″ FOUPs (pro Modul)
– bis zu 12 x 8″ SMIFs (pro Modul)
bei mehreren nebeneinander angeordneten CleanSurF-Einheiten mit anpassbarem EFEM - Kleine Stellfläche: 6,9 m²
(L x B x H: 1980 x 3480 x 2500 mm) - Nahtlose Integration in OHT-basierte Transportsysteme
- Robotik entspricht ISO-Klasse 2
- Mehr Sicherheit durch kameragesteuerte Roboterzelle
Optionen
- Host-Prozesssteuerung über SECS/GEM-Schnittstelle
- Zusätzlicher DI-Wasser-Filter
- RFID-/Barcode-Scanner
- Zusätzlicher Reinigungsmittel-Tank mit Dosierpumpe
- Zusätzliche Pufferstationen
- N2-Spülsystem
- EFEM-Ionisierungseinheit
- Greifer-Reinigungsstation
