MultiStep
Halbautomatische Nassbank mit einer kompakten Grundfläche und einer Vielzahl an Konfigurationsmöglichkeiten
MultiStep
AP&S Produkte
Modular
Eine kompakte Nassprozessanlage, die durch ihren modularen Aufbau jederzeit erweiterbar ist und den AP&S Kunden somit einen hohen Grad an Flexibilität bietet.
Hauptvorteile
- Smarte, modulare Konstruktion für komfortable und kostengünstige Installation und Wartung sowie für hohe Flexibilität bei Upgrades
- Verschiedene Wafer-Größen und -Dicken können bearbeitet werden, dafür sind keine Anpassungen/ Modifikationen an der Anlage erforderlich
- Höchste Zuverlässigkeit mit einer Anlagenbetriebszeit von ≥ 97%
Prozesse
- Verschiedene Nassreinigungsverfahren
- RCA
- Pre-Diffusion
- Pre-Metal
- Verschiedene Ätzprozesse, einschließlich Oxid, Nitrid, Polykristallin, Metalle und Silicide
Substrate
- Substrate
Wafer, MEMS, Optoelektronik, Fotomasken, Glas - Wafer-Material
Si, SiC, GaN, GaAs, Sapphire, Glas - Wafer-Größen
bis zu 8″
Technische Merkmale
- Optimierte Anlagenstandfläche
- Die Anlagenkonfiguration kann kostengünstig an zukünftige Produkt- / Prozessänderungen und Kundenanforderungen angepasst werden
- Verarbeitet 2 x 25-Wafer-Stapel mit 4 bis 6“ oder 25 x 8“ Substraten
- Entspricht: FM 4910, SEMI S2 und S8, SECS, GEM, CE
- Prozesskontrolle durch neueste Softwaretechnologie:
Sensor-Softwareschnittstelle, geeignet für hausinternes Trackingsystem, umfangreiche Prozessdokumentation (Verbrauch, Medien, Temperatur, Reinigungszyklen, Ende des Laufs, Login), individuelle Rezepturen