MultiStep

Halbautomatische Nassbank mit einer kompakten Grundfläche und einer Vielzahl an Konfigurationsmöglichkeiten

Produkte »

MultiStep

AP&S Produkte

Modular

Eine kompakte Nassprozessanlage, die durch ihren modularen Aufbau jederzeit erweiterbar ist und den AP&S Kunden somit einen hohen Grad an Flexibilität bietet.

Kontakt

Hauptvorteile

  • Smarte, modulare Konstruktion für komfortable und kostengünstige Installation und Wartung sowie für hohe Flexibilität bei Upgrades
  • Verschiedene Wafer-Größen und -Dicken können bearbeitet werden, dafür sind keine Anpassungen/ Modifikationen an der Anlage erforderlich
  • Höchste Zuverlässigkeit mit einer Anlagenbetriebszeit von ≥ 97%

Prozesse

  • Verschiedene Nassreinigungsverfahren
  • RCA
  • Pre-Diffusion
  • Pre-Metal
  • Verschiedene Ätzprozesse, einschließlich Oxid, Nitrid, Polykristallin, Metalle und Silicide

Substrate

  • Substrate
    Wafer, MEMS, Optoelektronik, Fotomasken, Glas
  • Wafer-Material
    Si, SiC, GaN, GaAs, Sapphire, Glas
  • Wafer-Größen
    bis zu 8″

Technische Merkmale

  • Optimierte Anlagenstandfläche
  • Die Anlagenkonfiguration kann kostengünstig an zukünftige Produkt- / Prozessänderungen und Kundenanforderungen angepasst werden
  • Verarbeitet 2 x 25-Wafer-Stapel mit 4 bis 6“ oder 25 x 8“ Substraten
  • Entspricht: FM 4910, SEMI S2 und S8, SECS, GEM, CE
  • Prozesskontrolle durch neueste Softwaretechnologie:
    Sensor-Softwareschnittstelle, geeignet für hausinternes Trackingsystem, umfangreiche Prozessdokumentation (Verbrauch, Medien, Temperatur, Reinigungszyklen, Ende des Laufs, Login), individuelle Rezepturen

< zu den Produktfiltern

#Kontakt

AP&S Produkte im Einsatz

Wenn Sie Fragen haben oder Kontakt mit uns aufnehmen möchten, freuen wir uns darauf, Sie kennen zu lernen.

Kontakt